משאבות ואקום מיניאטוריות, הנקראות לרוב משאבות ואקום קטנות בשל גודלן הקטן, מוגדרות כך: למשאבת ואקום מיניאטורית יש כניסה ויציאה אחת, המסוגלת ליצור באופן רציף ואקום או לחץ שלילי בכניסה ולחץ חיובי קל ביציאה; מדיום העבודה הוא בעיקר גז, והוא מכשיר קומפקטי.
על ידי חיבור מיכל אטום (בתחילה בלחץ אטמוספרי של 100 kPa) למשאבת ואקום מיניאטורית ופינוי רציף שלו, לחץ הגז בתוך המיכל האטום יירד בסופו של דבר מתחת ללחץ אטמוספרי ויגיע ללחץ מוחלט של 60 kPa. יתר על כן, באמצעות שיפורים טכנולוגיים מיוחדים, בנוסף למשאבות ואקום מיניאטוריות יחידות-לשאיבה, ניתן לפתח משאבות שאיבה ופינוי דו--תכליתיות (כלומר, קצה הפליטה יכול ליצור לחץ חיובי גדול יחסית), המשמשות ללחץ, מילוי, התגברות על התנגדות המערכת וכו'. ישנן גם משאבות{8}}ייחודיות במשאבות{8}} ואקוום של מים{8}}. מצבים הדורשים סרק{10}}לטווח ארוך או הפעלה יבשה, בניגוד למשאבות מים רגילות שנפגעות ממצב סרק או הפעלה יבשה.